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衍射光学元件的尤其和功效

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衍射光学元件的尤其和功效

发布日期:2021-03-18 作者: 点击:

       衍射光学元件是光刻机中的一系列可挪动镜片,关键用以造成光刻需要的灯源。光刻机的灯源约为4000镜片。


衍射光学元件的特点:

       衍射光学元件的特点是它能够在维持高衍射效率的另外,确立地上手光抗压强度遍布。因而,衍射光学元件变成离轴照明灯具的理想化部件。一般用以光刻系统软件衍射光学元件的离轴照明灯具,子模块的总数必须低于10个,设计方案信息量很大,而且单元尺寸做到μm乃亚微米的量级。


       光线沿直线传播。当光线穿过小圆孔或穿过轮廊明晰的边沿时,顺着小圆孔的边沿会造成干预样图。結果是图象模糊不清,而不是预估在光和黑影中间发生的图象。边沿清楚,光线好像顺着间隙的边沿弯折。这类状况称之为衍射。


衍射效率:

       衍射效率是评定衍射光学元件和包括衍射光学元件的映射-衍射混和光学系统的关键指标值。在光根据衍射光学元件以后,造成好几个衍射级。一般,仅关心主衍射级的光,而别的衍射级的光在主衍射级的像表面产生杂散光眼,进而减少了像面的饱和度。因而,衍射光学元件的衍射效率立即危害衍射光学元件的显像品质,必须准确地测量衍射光学元件的衍射效率。


补水面膜的衍射:

       光的衍射与光刻技术性息息相关,由于投射掩膜具备小的清楚图案设计和狭小的间隔。在曝出期内,光一定要穿过这种图案设计,衍射图案设计会带去曝出的能量,并使光散发,进而造成 光致抗蚀剂的未曝出地区曝出。当孔钟头,比如触碰孔小到200nm时,这个问题更为比较严重。衍射造成的干预样图会使小触碰孔和小线无法光刻。

衍射光学元件.jpg

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关键词:衍射光学元件,光学元件

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