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微光学元件的加工能力

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微光学元件的加工能力

发布日期:2020-02-21 作者: 点击:

微透镜的波段范围覆盖190nm~10600nm的范围,匹配各种常用激光器的波长。每个微小透镜/子单元的尺寸最小可以做到1um,通常在1~5000um,形状可以为圆形、正方形、长方形、六边形或其它用户指定的形状。我们可以通过套刻刻蚀的工艺完成多台阶结构的制作,目前2台阶、4台阶、8台阶、16台阶和32台阶的工艺都已经非常成熟,衍射效率*可以做到95%。对于连续面型结构,我们可以做到数值孔径:0.01~0.5,面形误差:<2%。

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