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衍射光学元件的功效是什么?

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衍射光学元件的功效是什么?

发布日期:2021-04-30 作者: 点击:

自1960年台激光发生器面世至今,历经近70年的发展趋势,激光设备早已产生了巨大的产业链经营规模,广泛运用于工业生产生产加工、美容医疗、商业服务、科学研究、信息内容和国防等好几个行业。不一样的应用领域对激光器的输出功率、光波长、光斑样子等拥有不一样的规定,而要完成光斑样子的更改,则离不了光线整形美容器。而衍射光学元件(DiffractiveOpticalElements)通称DOE,又被称为二元电子光学元器件,关键用以激光整形美容,例如匀称化、自准直、聚焦点、产生特殊图案设计等。


DOE元件


衍射光学元件(DifractiveOpticalElement,DOE)是相位差元器件,它应用置入在元器件中的薄薄膜光学将键入激光操纵为各种各样輸出轮廊和样子。衍射电子光学元器件可完成很多作用跟光实际操作,而这在规范映射电子光学元器件中不是行得通的。

在很多运用中,这种作用十分有利,能够明显提升系统软件特性。选用衍射光学元件开展光线整形美容是近年来发展趋势起來的十分便捷、灵便、功能齐全的光线整形美容方法。DOE可适用各种类型的键入激光器(如多模高斯函数激光器、多模光纤激光器等),在激光器焦表面产生特定的光斑样子和光照强度遍布,还能够完成在激光器散播方位特殊的光照强度遍布。

典型性的作用包含:造成坡屋顶遍布圆光斑或矩形框光斑;造成线型遍布光斑;将非匀称多模光纤激光器开展匀化;造成环状及其多环等光斑遍布;造成一维、二维分束激光器遍布;在传送方位上产生多聚焦点及其长焦镜头深遍布等。

1、衍射的定义

光顺着直线传播,当光越过一个小圆孔或历经一个轮廊明晰的边沿时,沿小圆孔边沿造成了干预图型,結果获得了一个模糊不清的图象,而不是期待发生在光和黑影中间的清楚边沿。光看起来沿间隙边沿弯折了。这类状况称之为衍射。

2、衍射高效率

衍射高效率是点评衍射光学元件及其带有衍射光学元件的折衍射混和自准直的关键指标值之一。光源根据衍射光学元件后,会造成好几个衍射级次,一般仅仅关心主衍射级次的光源,别的衍射级次的光源在主衍射级像表面产生杂散光眼,减少像面的饱和度。因而,衍射光学元件的衍射高效率立即危害到衍射光学元件的显像品质,对衍射光学元件衍射高效率的精准测量是十分必要的。

3、掩膜版的衍射

光的衍射和光刻技术息息相关,由于投射掩膜版上面有小的清楚图型而且间隔窄小。曝出时,光务必根据这种图型。衍射样图抢走了曝出动能,并使光散发,造成光刻技术上不必曝出的地区被曝出。这个问题在孔钟头更比较严重,比如小到200nm的触碰孔。由衍射造成的干预样图能使小触碰孔和小线框难以被光刻技术。

伴随着世界各国销售市场对激光器光线转换的急切要求,根据衍射电子光学的各种解决方法愈来愈遭受销售市场的高度重视,特别是在在坡屋顶整形美容行业,多聚焦点激光切割等层面运用有着关键独立专利权。值得一提的是,例如分束、匀光、长焦镜头深、涡流光线、点阵式、特点图型等元器件及控制模块在各行业也是有关键运用。


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关键词:衍射光学元件,DOE元件

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